石墨舟的功用及整體質(zhì)量對PECVD過程的影響

石墨舟的功用及整體質(zhì)量對PECVD過程的影響
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實施硅片PECVD鍍膜的器械除了設(shè)備外還需要一種支撐硅片的承載工具，管式PECVD采用石墨舟作為承載工具，板式PECVD則采用石墨框作為承載工具。


以管式機石墨舟為例，石墨舟即是承載體，也是電極，從電路角度上看，石墨舟實際上是一組并聯(lián)體，任意兩片舟片都是一組正、負極極板，在射頻電壓的左右下形成電場。

石墨舟.jpg

采用石墨作為承載工具具有以下特點：
1、石墨具有良好的導(dǎo)電性能，通過合適的排列方式可以建立起穩(wěn)定的電場，使氣體在電場的作用下得到電離，在被鍍物上沉積出需要物質(zhì)；


2、石墨具有良好的耐高溫性能且熱膨脹率非常小，在常溫和高溫狀態(tài)下都能保持穩(wěn)定的形體；


3、石墨的化學性質(zhì)穩(wěn)定，在無氧或真空狀態(tài)下，即使在高溫狀態(tài)下也不會和鍍膜物質(zhì)產(chǎn)生化學反應(yīng)，保證了沉積物的純度。

信息來源：石墨舟

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