石墨坩堝在熱場系統(tǒng)中的功能是什么？
作者：http://m.hrbhunqing.com
發(fā)布時間：2023-10-28 16:39:49
直拉法出產(chǎn)單晶硅是現(xiàn)在制備單晶硅的最主要方法，熱場系統(tǒng)是硅資料成晶的最重要的條件之一，熱場的溫度梯度散布直接影響著是否能順暢地拉出單晶和控制單晶的質(zhì)量好壞。因此熱場的設(shè)計和改善對一個有競爭力的拉晶廠家來說非常重要。
石墨坩堝在熱場系統(tǒng)中的功用 ：
在拉制單晶的過程中，石墨坩堝作為要害核心部件的主要效果有如下幾點：
（1）高溫承載效果：裝滿多晶硅材料的石英坩堝要置于石墨坩堝里邊，石墨坩堝要承載石英坩堝和多晶硅等材料的分量，確保高溫石英坩堝變軟后，材料不會走漏出來，而且在拉晶過程中要承載材料做旋轉(zhuǎn)運(yùn)動，因此，對其力學(xué)功用要求比較高；
（2）傳熱效果：坩堝通過本身優(yōu)良的導(dǎo)熱功用，傳導(dǎo)多晶硅材料消融所需的熱量，消融溫度在1600℃左右，因此，坩堝有必要要有杰出的高溫導(dǎo)熱功用；
（3）安全效果：在緊急情況停爐時，因為多晶硅冷卻時體積脹大（大約為10%），坩堝短時間內(nèi)會接受很大的應(yīng)力，因石墨資料本身的強(qiáng)度較低，石墨坩堝在這種情況下一般都會迸裂而報廢，甚至損壞相鄰部件甚至整個熱場，因此石墨坩堝強(qiáng)度較低是單晶出產(chǎn)穩(wěn)定的隱患，急需更新?lián)Q代，運(yùn)用符合拉晶需求的抗折強(qiáng)度大的產(chǎn)品。